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          美國派克PARKER隔膜閥
          產品時間:2020-03-11
          美國派克PARKER隔膜閥:SM930 系列可供多種手動操作人員和氣動執行器使用。提供優xiu的可靠性、泄露完整性和潔凈性,使其成為UHP超高純半導體模塊化貼面安裝系統應用的理想選擇

          美國派克PARKER隔膜閥產品描述:

          SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧,大限度地減少粒子生成和氣體截留,減少對半導體應用至關重要的過程污染。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片應力,提供穩定和無需維護使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備,提供優異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級不銹鋼。隔膜材料為高強度鈷基合金。SM930系列同時提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料,允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴格設計組成,使SM930系列具有強耐腐蝕性和更高循環壽命,入口壓力高達250 psig. 



          SM930系列氣動閥可配套限位開關或接近開關提供開-關位置指示。也有多種閥體結構,包括930Y(Y閥)和930(面密封和短管接口). SM930系列閥門的內部(閥座)密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試,使用質譜儀達到在苛刻超高純應用中的性能和穩定性.

           

          美國派克PARKER隔膜閥特點/優勢:

          • 有C和W密封貼面安裝1-1/8

          • 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理

          • 高循環壽命(包括腐蝕性工礦)

          • 內部無彈簧無螺紋,大限度地減少粒子生成和氣體截留

          • 壓力范圍:真空到250 psig

          • 內漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He 

          • 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 H

          • 常規氣動動作壓力75 psig 

            應用:

            • 腐蝕性和特殊氣體

            • 半導體工具

            • 工具掛鉤

            • 氣體柜

            • 閥組箱 (VMB)

             

             

            如需要了解產品更多信息,請點擊:派克PARKER隔膜閥

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